画期的超省スペース実現の液晶基板収納システムの開発に成功

画期的超省スペース実現の
液晶基板収納システムの開発に成功
　世界初、第７世代サイズ対応の高密度グラスバッファー
　設備の大型化に悩む液晶業界に朗報！

　神鋼電機株式会社（本社：東京都江東区、社長：佐伯弘文）は、この度、液晶基板１枚当たりの収納に要するフットプリント（装置占有面積）が、従来のストッカと比べ約１／２に、また設置面積を従来ストッカと比べて１／５－１／10のスペースから設置可能とする省スペース可能な第七世代（Ｇ７）対応の、水平型枚葉の画期的な「超省スペース液晶基板用高密度グラスバッファー」（特許申請中）を、世界で初めて開発に成功しました。（本システムは第６世代にも適応可能です）
　なお、今回のこの開発は、当社の半導体・液晶機器グループと当社の関係会社であるアシストシンコー株式会社（本社：東京都江東区、社長：河野等）が、半導体・液晶搬送システムの世界的なトップメーカーである同社の持つ豊富な経験と知見の協力の許に本システムの開発に成功したものです。

１．	大型化が進む液晶搬送の現状と問題点

　パソコンやテレビ等の薄型ディスプレイのニーズの増大に伴い、近年、液晶製造設備の新設機運が液晶基板メーカで著しいものがあり、2006年には2002年度比倍増の市場規模が予測されています。
　また、生産性向上のため、液晶ガラス基板サイズもＧ５、Ｇ６、Ｇ７世代と進化大型化し、Ｇ７世代に至っては、1900mm×2200mmと、タタミ２畳（一坪）を上回る大面積ガラス基板になってきています。
　このような、ガラス基板サイズの大型化に伴い、製造装置の大型化、カセットサイズおよび重量増大によるカセット搬送装置の巨大化、基板収納スペースの増大、工場全体スペースの増大など様々な問題点が顕在化してきていました。

２．	新開発の「超省スペース液晶基板用高密度グラスバッファー」

　当社は、この度、益々大型化するガラス基板の課題を解決するため、Ｇ７対応の従来方式と全く異なる世界初の画期的な「超省スペース液晶基板用高密度グラスバッファー」（特許申請中）を開発しました。
　この液晶基板収納システムは、基板のたわみを無くし、高密度収納が可能な基板収納ユニットと、ランダムアクセス可能なカセットステーション及び水平移載型高機能搬送ロボットとから主に構成されています。ランダムアクセス可能なカセットから液晶基板を出し入れして液晶基板の一時収納を可能にする、Ｇ７（第七世代）サイズ対応の液晶基板収納システムです。
　コンパクトな設計となっているため、従来のストッカが設置できないクリーンルーム内の飛び地や空き地でも設置可能です。基板収納ユニットのみを増設することで、収納量を簡単に増加することができます。またランダムアクセス可能なカセットと共存可能なことから、インラインストッカの液晶基板収納量不足時の補完にも対応でき、装置の通常稼動時の液晶基板収納はもとより、装置の異常発生時の液晶基板収納にも適しています。従来のストッカーに比べ、初期投資金額を約半分に抑えることができ、必要に応じて随時拡張可能等の特徴を有しています。

３．	本システムのメリット

１)	従来ストッカに比べ液晶基板一枚収納当りのフットプリントが１／２以下。
２)	従来の基板収納カセットに比べて３倍の収納効率を実現。
３)	従来ストッカが設置できないクリーンルーム内の狭い飛び地や空間にも設置が可能。従来ストッカ比、１／５－１／10の設置面積から設置可能。
４)	初期投資を抑え、必要な時に随時拡張可能。
５)	ランダムアクセス可能なカセットを採用した従来タイプのインラインストッカの液晶基板収納量不足を随時補完。
６)	Ｇ６にも対応可。また将来のガラス基板の更なる大型化（Ｇ８，Ｇ９のニーズ）に対しても基本的に同様な方式でシステムが構築できる。

　既に、当社豊橋製作所内に、この「超省スペース液晶基板用高密度グラスバッファー」の実機モデルも完成し、運転性能も確認済みです。

４．	神鋼電機の液晶基板搬送分野へ更なる新たな取り組みについて

　なお、今回の新液晶基板用高密度グラスバッファーに引き続き、Ｇ７基板搬送に変革をもたらすべく、当社がこの度新たに開発した“DIETロボット”（製造装置間搬送に従来のカセットを使用せず、ガラスを直接枚葉搬送する新型ロボット）を採用し、ガラス基板を水平搬送可能な、画期的な世界初の「新枚葉搬送システム」の開発もアシストシンコー株式会社と共に進めており、４月に実機モデルの完成と共に発売に踏み切る予定です。（詳細内容は４月末発表予定）

５．	今後の販売目標

　この高密度グラスバッファーについては、既に、ある海外メーカーから好評価を得えており、採用の方向で検討をいただいております。また、大型ガラス基板を取り扱うガラスメーカー等にも需要があると、当社では見込んでおります。

以上

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