当社はこのほど、世界で初めて小型ＨＤ（High Density：高力密度）リニアモータを組込み、国内最高レベルの位置決め精度を実現した、超薄型精密位置決めステージ（アライメントステージ）を、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置用として開発しました。
アライメントステージの駆動機構としては、サーボモータとボールネジの組み合わせが一般的ですが、高精度化、省スペース化を目的としたリニアモータによるダイレクト駆動方式が実用化されつつあります。
今回開発したアライメントステージには、当社が独自に開発した小形で大きな力が出せるHDリニアモータを採用して超薄型化、小型化をはかるとともに、位置決め分解能０.１ミクロンメートル、繰返し精度±０.１ミクロンメートルと国内最高レベルの位置決め精度を実現し、ボールネジ方式ではえられない高精度を達成しています。
外形寸法は縦300mm×横300mm、厚さ90mm、質量14.0kgです。
当社のＨＤリニアモータは低発熱が特長の一つですが、これによりステージ部への温度の影響が小さく、他のリニアモータ方式のステージに比べて、より高精度な位置決め性能を実現しています。
また、ステージ中央部には空間を設けているので、配線、配管、アクチュエータ等が貫通可能なため、センサーに光学系を利用した製造・検査装置への応用のほか、他の装置にも幅広く応用が可能です。
さらに、今回開発したアライメントステージに、当社の回転型小形ダイレクトドライブモータ（ＨＤモータ）と、遠隔画像処理計測を組み合わせた精密Ｘ−Ｙ−θユニットの製品化にも成功しました。
今回開発したアライメントステージは、高精度な位置決めが要求されるＦＰＤ（液晶、有機EL）製造装置、半導体製造装置、プリント基板製造装置などや、これらの検査装置のアライメントステージとして応用が可能です。
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