ＨＤモータ式超薄形Ｘ-Ｙ-θ精密位置決めステージを開発

国内最高レベルの位置決め精度をもつ

ＨＤモータ式超薄形Ｘ-Ｙ-θ精密位置決めステージを開発

　
当社は、このほど小形ＨＤリニアモータと、小形・超薄形ＨＤモータを組み合わせた国内最高レベルの位置決め精度をもつ「超薄形Ｘ-Ｙ-θアライメントステージ」を開発しました。

今回開発したアライメントステージﾞは、高精度化、小形・薄形化を実現するため、Ｘ-Ｙステージには当社独自開発のＨＤ（High Density：高力密度）リニアモータを、θ軸（回転軸）には、当社新開発の超薄形ＨＤモータ（回転形ダイレクトドライブモータ）を採用し、Ｘ-Ｙステージの分解能は0.1マイクロメートル、θ軸の分解能は１回転で２００万パルス（ppr）という国内最高レベルの精度を実現しています。

これにより従来から一般的に採用されているサーボモータ、又はステッピングモータとボールネジの組み合わせでは得られない、ダイレクト駆動方式のノンバックラッシュ超高精度アライメントステージを実現しました。
さらに、このアライメントステージは、当社製ＨＤリニアモータやＨＤモータの特長である低発熱により、ステージ部への温度の影響が少なく、熱による位置決め精度への影響もほとんどありません。

外形サイズは縦３００（mm）×横３００（mm）×高さ１１９（mm）と小形、薄形を実現。しかも、ステージの中央には空間（貫通穴）を設けているので、配線、配管、アクチュエータ類等の部品が貫通可能であり半導体製造装置、フラットディスプレイ製造装置、プリント基板製造装置や各種検査装置等に幅広く応用できます。
　

主なスペック

● Ｘ、Ｙ軸：ＨＤリニアモータ

● θ軸（回転軸）：ＨＤモータ

項目	単位	Ｘ軸	Ｙ軸
メカストローク	mm	±3	±3
位置決め分解能	μm	0.1	0.1
最大推力	Ｎ	150	150
負荷荷重	Ｎ	1000	1000

項目	単位	θ軸
最大トルク	Ｎ	9
センサー分解能	p/r	200万
回転数r	ps	2.5
回転角	度	360

超薄形Ｘ-Ｙ-θアライメントステージ

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