半导体设备

Automated Wafer Transportation System
面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场!

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

特长

适用于6/8英寸基板

通过晶圆盒~制程处理室间的基板设置&基板输送的自动化处理,实现人力的节省

凭借高洁净度、氮气环境内(基于氮气循环)的处理,达到高成品率(降低异物、水分、酶等成分的污染)

制程处理后的高温基板也能加工处理,进而实现高生产性

既往方法

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基板自动搬送装置(EFEM)