半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型!

300mm FOUP Load Port
(Smart SELOP-8系列)

采用独立结构,实现FOUP门开关更加流畅[已获美国专利]

气动/电动混合驱动结构抑制开关门产生的振动,大幅降低颗粒的影响。拥有最新的高气密性FOUP。

特长

采用独立可动喷嘴,可实现稳定N2purge[已获美国专利]

控制喷嘴升降时机
避免和运动销载入位置的干扰
亦可与N2Purge不匹配的FOUP混用
调节喷嘴结合强度功能
可更换喷嘴头
喷嘴升降位置确认(传感器)

1.载体基座上的FOUP N2Purge

  • FOUP适用实绩:ENTEGRIS公司A-300及Spectra
    (适用4吹净口型号) ※

2.纯净氮气供给

  • (1)过滤器紧接吹净口,防止颗粒侵入FOUP
  • (2)向位于FOUP注入口的规格金属孔眼压焊喷嘴

3.可通过流量计监测氮气气体的流量

4.可通过MFC控制氮气气体的流量

4.可通过现场改装将标准版SELOP-8 N2Purge工艺升级

※载体基座上的FOUP N2Purge

300mm FOUP 载入口