半导体设备

支持高效率、稳定的晶元移位
Sorter

特长

搭载高可靠性、销量No.1的SELOP系列载入口

可搭载N2吹净规格的载入口(选配件)

无颗粒

采用独创的流量控制与固定式机器人

高通量

省空间

SEMI标准软件(应对GEM300)

种类丰富(2×2、3×3、4×4口)

选配件

photo
  • 基板翻转机构
  • 区域传感器
  • EFEM内照明
  • 应对真空吸附
  • E84接口
  • 信号塔
  • 负离子发生器