300/200mm自动切换功能 Load Port
Smart SELOP-7 新系列
最适合300mm与200mm晶圆混合生产线
300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP！
采用300/200mm两种晶圆尺寸映射功能
采用晶圆防脱出结构
采用晶圆搬送过程中保持适配器门关闭的安全锁功能。
- 300mm晶圆FOUP或200mm开放式晶圆盒自动识别功能
- 载入口参数自动变更及装置识别通知功能
