非吸附/吸附式晶圆传输（清洁等级1）

※抑制晶圆内面颗粒附着

可扩展应用于200mm晶圆及石英晶圆

（300mm选购）

高速、高精度定位

可装载氮气吹净载入口

（选购）

3个标准载入口+可增设载入口

（选购）

可具备抗腐蚀性

（选购）

300mm晶圆搬运机器人