Smart SELOP 系列
Panel FOUP Load Port
支持新一代在大型面板上的集成技术（FOPLP）
附带高精度Mapping功能
无颗粒
符合SEMI标准
对应基板尺寸
- 600×600mm
- 510×515mm
- 300×300mm
- 250×250mm
规格
| 型号 | SELOP20F12-SP | SELOP24F12-SP |
|---|---|---|
| 对应工件 | 515 × 510mm PANEL | 600 × 600mm PANEL |
| 外形尺寸 | W793 × D739 × H1433 (㎜） | W793 × D810 × H1433 (㎜） |
| 重量 | 140kg | 150kg |
| 运行周期 | PANEL 6枚/12枚 FOUP（符合SEMI E-181标准的产品） | |
| 门保持 | 开启操作: 20秒以下（包括Mapping操作） 关闭操作: 15秒以下（不包括Mapping操作） |
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| 定位精度 | 真空吸附法 | |
| 适用载具 | FOUP前后轴: ±0.1㎜､FOUP门升降轴: ±0.1㎜ | |
| 检测机制 | ①FOUP有无 ②FOUP正常戴置 ③确认FOUP门 ④晶圆Mapping ⑤晶圆弹出 ⑥防止夹手 |
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| 机制 | ①门动作（升降･开关）· 晶圆Mapping动作：步进电机·同步带 ②Clamp･Dock･Latch：气缸 |
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| 标准功能 | ①Mapping功能 ②内置控制器 ③载具位置调整机构 ④BOLTS表面位置调整机构 ⑤自立·搬运脚轮 ⑥Ethernet※通信规格 |
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| 功用 | ①电源:DC24V 5A ②CDA:0.45～0.6MPa 10L/min ③真空:－60kPa 5L/min |
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| 界面 | 通信 RS232C, Ethernet※ TCP/IP | |
| 选项 | ①用户特定指示灯面板 ②用户特定开关面板 ③载具ID读取器 ④Info Pad A,B,C,D(定位销或传感器）⑤光I/O ⑥支持无Mapping ⑦AC200V 规格 ⑧E84兼容 ⑨E84,CID通信兼容 ⑩BOLTS表面位置调整机构 ⑪支持氮气吹扫 |
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※ Ethernet为美国Xerox Corp.的注册商标。
