支持进一步微细化的次时代机型！
300mm FOUP Load Port
（Smart SELOP－8系列）
采用独立结构，实现FOUP门开关更加流畅[已获美国专利]
气动/电动混合驱动结构抑制开关门产生的振动，大幅降低颗粒的影响。拥有最新的高气密性FOUP。
![采用独立可动喷嘴，可实现稳定N2purge[已获美国专利]](images/sbt-n2purge_uspg.gif?v2){kind=small}
- 控制喷嘴升降时机
- 避免和运动销载入位置的干扰
- 亦可与N2Purge不匹配的FOUP混用
- 调节喷嘴结合强度功能
- 可更换喷嘴头
- 喷嘴升降位置确认（传感器）
载体基座上的FOUP N2Purge
- FOUP适用实绩：ENTEGRIS公司A-300及Spectra
（适用4吹净口型号） ※
纯净氮气供给
- (1)过滤器紧接吹净口，防止颗粒侵入FOUP
- (2)向位于FOUP注入口的规格金属孔眼压焊喷嘴
可通过流量计监测氮气气体的流量
可通过MFC控制氮气气体的流量
可通过现场改装将标准版SELOP-8 N2Purge工艺升级
※载体基座上的FOUP N2Purge
