支持SMIF自动搬送

OHT传送领域：确保SEMI E15 C2尺寸
可支持E84，RFID

SEMI E63 BOLTS-M安装

搭载简易化安装结构

搭载高性能/高可靠性的控制系统

·沿袭300mm Load Port的控制系统技术
·支持RS-232C / Ethernet接口通信

采用8连指示灯

根据客户需求可非标定制化

搭载Mapping功能

进行 Single / Double / Cross的判定