支持高效率、稳定的晶元移位
Sorter
搭载高可靠性、销量No.1的SELOP系列载入口
可搭载N2吹净规格的载入口（选配件）
无颗粒
采用独创的流量控制与固定式机器人
高通量
省空间
SEMI标准软件（应对GEM300）
种类丰富（2×2、3×3、4×4口）
选配件
- 基板翻转机构
- 区域传感器
- EFEM内照明
- 应对真空吸附
- E84接口
- 信号塔
- 负离子发生器
